Alcatel Adixen AD100K vide poussé

Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h.

Pompe à sec Adixen AD30K, vide poussé
Les nouvelles pompes puissantes fonctionnant à sec :
La série ADH est spécialement conçue pour le solaire
développée pour les processus exigeants des marchés des semi-conducteurs et des LED,
Avec une capacité d'aspiration de 600-4500 m3/h.

Semi-conducteurs : taux de pompage H2 élevé
La performance de la série ADH apporte les avantages suivants au processus :
-performances du processus ADL : haute efficacité de pompage des gaz légers
permet une vidange plus rapide de la chambre entre les étapes du processus.
- Épitaxie et EUV : capacité d'aspiration élevée et débit élevé
Tolérance répondant aux spécifications de processus les plus exigeantes

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Pompe sèche Adixen AD30K, vide poussé, AD 30 KL
Fabricant : Alcatel Adixen
Type : AD30K.H
Année de construction : 2008

Adixen AD100K.H
Fabricant : Alcatel Adixen
Type : AD100K.H
Année de construction : 2008

Pompe à vide :
Fabricant : AERZEN
Type : GM 2000 CM-C
Vitesse de rotation : 6000 tr/min
Tension : 200-460 V
Fréquence (huile minérale/huile PFPE) : 100 c/s
Puissance d'aspiration max. : 4035 m3/h
Vitesse de rotation max : 5920 tr/min
Puissance du moteur S 1 / S 6 : 9/5,6 kW
Année de construction : 2008
Poids : 345 kg

Pompe à sec :
Fabricant : Adixen
Type : BF ADP122
Année de construction : 2008
Puissance 1,5 kW
Capacité d'aspiration maximale : 95 m3/h
Pression d'entrée maximale permanente : 50 mbars
Surpression maximale des gaz d'échappement : 1200 mbar
Eau de refroidissement : 60 l/h
Vitesse de rotation (pompe) : 3000-3600 tr/min
Température de fonctionnement de la pompe : de 5 °C à 40 °C
Bride d'entrée : DN 50 ISO-KF
Bride d'évacuation : DN 40

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