Pulvérisation rouleau à rouleau

Bobst Group SA Roll-To-Roll Sputtering

Système de pulvérisation cathodique GVE/Optilab : Système roll-to-roll pour le dépôt de couches ultra-minces (de l'ordre du nanomètre). Le système peut déposer différents matériaux (métaux, couches conductrices transparentes) sur le matériau du film. Il est équipé de plusieurs cathodes de pulvérisation cathodique, c'est-à-dire que plusieurs couches minces peuvent être déposées simultanément.

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GVE, Bobst Ltd, Optilab, 2010, Outil de pulvérisation sous vide rouleau à rouleau avec 3 chambres de dépôt pour 2 cathodes chacune ; Complet avec : - Largeur de bande de 520 mm, enroulement bidirectionnel avec fonction d'intercalage et de désintercalage. Pompage turbomoléculaire (mag lev) dans toutes les zones. Refroidisseur à tambour, unité de réchauffage (-20 à +200 degrés C). Unité polycold 1100 avec bobines cryogéniques dans chaque zone de pulvérisation ainsi que dans la zone d'enroulement. Une unité plasma moyenne fréquence GVE AC. Un système de surveillance de la résistance après revêtement. (Mesure de la résistance sur la ligne centrale de la bande). Un système à écran tactile Siemens WIN CC pour contrôler le système M/C et de surveillance. Zone de chauffage I/R (3 unités de chauffage). Système de polarisation Web (PSU etc.). 1 gen mag c/w 2 x 20 kw pulsé c.c. 1 double mag avec 2 x 10 kW pulsé DC (avec anode cachée). MFC etc. 1 x système de contrôle de pulvérisation PEM entièrement intégré. Prix d'origine 1 450 000 euros

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