Système PVD à pulvérisation magnétronCemeCon
CC 800/9 HIPIMS
Données sur la machine
- Designation de la machine:
- Système PVD à pulvérisation magnétron
- Fabricant:
- CemeCon
- Modèle:
- CC 800/9 HIPIMS
- Numéro de série:
- 11176
- Année de construction:
- 2006
- État:
- usagé
- Fonctionnalité:
- entièrement fonctionnel
Prix et localisation
- Lieu:
- Bremen, Allemagne
Détails sur l'offre
- Identifiant de l'annonce:
- A209-22332
- Numéro de référence:
- HIPIMS
- Dernière mise à jour:
- le 13.01.2026
Description
Fabricant : CemeCon
Modèle : CC 800/9
Numéro de série : 11176
Année : 2006, modernisée en 2013 et 2025
Poids : 3000 kg
Indice de protection : IP 20
Puissance : 166 kVA
Évaporateurs : 6
Tension : 3×400/N/PE V
Fréquence : 50/60 Hz
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Cemecon CC800/9 HIPIMS
- 6 cathodes
- Toutes cathodes en DC, 2 également en HIPIMS
- Anodes boosters
- 4 gaz, dont 1 inflammable
- BIAS : DC, MF pulsé ou HIPIMS
- 3 éléments chauffants
- 2 pompes turbomoléculaires
- Table à 6 positions
- Nombreux targets
- Inclut option de mesure BNC pour le courant, la tension, et la puissance de crête sur les cathodes HIPIMS et le BIAS
- Beaucoup d’accessoires tels que supports de charges, pièces de rechange, consommables
- En 07/2023, le système de contrôle a été mis à jour avec une maintenance constructeur.
Il est également possible de proposer un lot avec un groupe de refroidissement, une installation de nettoyage de précision pour substrats, ainsi qu'une machine de rodage/polissage.
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