Installation de traitement humide de wafersRobotechnik Europe
OPTIwet ST30
Installation de traitement humide de wafers
Robotechnik Europe
OPTIwet ST30
État
Occasion
Lieu
Allemagne 

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Données sur la machine
- Designation de la machine:
- Installation de traitement humide de wafers
- Fabricant:
- Robotechnik Europe
- Modèle:
- OPTIwet ST30
- État:
- prêt à l'emploi (d'occasion)
Prix et localisation
- Lieu:
- Deutschland

Appeler
Détails sur l'offre
- Identifiant de l'annonce:
- A206-18495
- Numéro de référence:
- INNO30389
- Dernière mise à jour:
- le 26.11.2025
Description
Installation pour le traitement chimique humide de wafers jusqu'à 12", substrats jusqu'à X/Y 9"/9", enceinte autonome, modules de procédé, chambre de procédé en PP, 2 bras médias programmables, vitesse de rotation 1-4000 tr/min, rampe d'accélération 1-3000 tr/min, temps de spin 1-999 s, extraction d'air bol de process 2x DN110, chambre 2x DN110, enceinte 1x DN110, commande 1x DN110 (chacun 200 m³/h), CDA 8+/-2 bar, vide -0,8+/-0,2 bar, azote 4,0+/-0,5 bar, 3 évacuations de média, bac à déchets pour 2 déchets concentrés, boîte à réactifs avec réservoir sous pression, 4 bains thermostatés Julabo. L'installation a été démontée lors du démontage. Visite possible sur rendez-vous.
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