Pompe à vide sècheULVAC
Model LR600
Données sur la machine
Prix et localisation
- Emplacement:
- Einsteinstraße 8A, 46325 Borken, Deutschland
Détails sur l'offre
- Identifiant de l'annonce:
- A221-32197
- Numéro de référence:
- 20070
- Mise à jour:
- dernière mise à jour le 16.06.2026
Description
Pompe à vide sèche ULVAC
Solution pour les pompes de processus exigeantes
Pompe à vide sèche
L'approche unique d'ULVAC pour exploiter la chaleur latente dans
le corps de la pompe permet à la série LR/HR/UR d'offrir
des performances, même dans les processus les plus exigeants.
ULVAC a concentré ses efforts de conception sur le maintien
d'une température élevée et extrêmement uniforme sur toutes les étapes de la pompe,
optimisant ainsi cette famille de pompes pour les applications CVD et de gravure.
Compatible avec le système ECO-SHOCK d'ULVAC pour des économies d'énergie supplémentaires.
Caractéristiques :
La pompe de la série LR est conçue pour les chambres de sas et les processus PVD.
La conception unique en aluminium d'ULVAC permet une répartition très uniforme de la température dans tout le corps de la pompe :
La pompe de la série ULVAC LR est conçue pour les applications nécessitant une pompe chauffée, des conduites de gaz chauffées et/ou des conduites d'évacuation chauffées.
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Excellentes performances de pompage de l'hélium.
Moteur encapsulé pour la sécurité et la facilité d'entretien.
Résiste aux coupures de courant jusqu'à 500 ms.
Les composants internes sont spécialement traités pour assurer un niveau élevé de dureté de surface et une excellente résistance à la corrosion.
Cela empêche l'usure des pièces internes de la pompe lorsqu'elles sont exposées à des gaz corrosifs.
(Série LR)
Conçue pour les gaz de processus qui génèrent des sous-produits pulvérulents, tels que les fours de croissance de cristaux de silicium.
Pompe de pré-vide pour les pompes turbo-moléculaires et les pompes à augmentation mécanique.
Type : LR600
État : neuf
Contenu de la livraison : (Voir image)
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Fournisseur
Dernièrement en ligne : la semaine dernière
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