Système de mesureASML
YieldStar S-200B
Données sur la machine
- Désignation de la machine:
- Système de mesure
- Fabricant:
- ASML
- Modèle:
- YieldStar S-200B
- Année de construction:
- 2011
- État:
- très bon (occasion)
- Fonctionnalité:
- entièrement fonctionnel
Prix et localisation
- Emplacement:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland
Détails sur l'offre
- Identifiant de l'annonce:
- A199-67480
- Numéro de référence:
- DV10125
- Mise à jour:
- dernière mise à jour le 10.09.2025
Description
Modèle : S200B
Type : YieldStar
Année de fabrication : 2011
Données techniques :
Taille du wafer : 300 mm (12")
Source laser : LPPS, refroidissement par eau
Informations générales :
Dusdpfx Ajxbnt Ejkhju
Le YSS200B est un système de mesure optique de superposition utilisé pour des mesures rapides et très précises des écarts de superposition sur des wafers de 300 mm – typiquement pour le suivi après gravure dans le contrôle des processus de production en tant que système autonome.
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Enregistré depuis: 2014
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